冷水機在半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)加工的應(yīng)用

      上海田楓廠家在這里和大家討論下冷水機在半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)加工的應(yīng)用，在芯片、晶元、液晶面板、集成電路等半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)加工過程中，半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)主工藝設(shè)備對加工溫度有著很苛刻的要求。主工藝設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)品加工過程中，需要維持恒定的環(huán)境溫度，如果配套控溫設(shè)備溫度波動過大就會造成廢品和殘次品，引起不必要的經(jīng)濟浪費。

       現(xiàn)在主流的給主工藝設(shè)備配套的控溫設(shè)備溫控能力可以達(dá)到空載狀態(tài)下溫度波動不超過±0.05℃，帶載狀態(tài)下不超過±0.5℃。目前常用的控溫方式為間接制冷系統(tǒng)，是利用控溫設(shè)備的冷水機制冷系統(tǒng)冷卻載冷劑，再經(jīng)過電加熱器進行溫度調(diào)節(jié)，持續(xù)不斷地向主工藝設(shè)備端供應(yīng)恒溫載冷劑，通過載冷劑與主工藝設(shè)備熱交換腔進行熱量交換，維持半導(dǎo)體主工藝設(shè)備的恒溫狀態(tài)。